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无锡施耐尔电子设备有限公司

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智能HMDS真空烘箱

HMDS 预处理真空系统通过对箱体内预处理过程的真空、烘烤、充氮、洁净、HMDS加液等程式过程，参数控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
二、产品特点：

1.控制界面：采用日本三菱 PLC+7寸触摸屏控制系统，程式化运行，温度系统，真空系统，充氮系统，HMDS 注液系统。

2.控制模块：控制模块是本系统的核心模块，它的作用是控制各个模块的动作和时序，完成整个工艺过程。

3.内胆材质：整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作，无发尘材料，适用百级光刻间净化环境。

4.密封装置：密封条为高温硅胶制作，可耐温不变形，门与箱体连接密封，加强密封效果。

5.加热装置：加热器采用SUS304#被覆无尘化SHEATHED HEATER寿命长且无污染，依据使用温度调整控制,节约能源。

6.加热方式：采用无触点SCR固态继电器控制每段温区发热管输出功率大小，接近恒定温度时，加热电流变小，使其恒定温度。

7.底部结构：万向移动福马一体承重脚轮，固定好位置可落下支撑脚，方便移动及固定

8.可视窗：采用钢化、防弹双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。

9. 温度传感器采用日制 PT100 铂金电阻，精度±0.5%，反应灵敏，耐高温。

10.真空系统：双旋片真空泵、真空组件、压力测量等组成，主要作用是置换气体和抽走剩余 HMDS 蒸汽。

11.充氮系统：作用是在置换过程中，用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽，从而最终替换空气或药液蒸汽的气氛，氮气流量，充入时间可控制。

12.HDMS 注液系统：HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，配置不锈钢药液管道，使真空箱密封性能极好。

13.保护系统：相序保护，漏电保护，过载保护，控制线路，超温保护，压力过载保护，急停开关，工作状态指示灯。

型号规格参数：